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        • Semiconductor Equipment
          半導(dǎo)體裝備
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          CST清洗設(shè)備
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          CST清洗設(shè)備

          所屬分類 : 半導(dǎo)體裝備
          wMBPURrcQS6U55ceJWTUzQ

          基本規(guī)格:

          -產(chǎn)品說明:清洗卡匣,確保卡匣在產(chǎn)線運行的潔凈度;

          -適用范圍:G6 CST和G6 Half CST;

          -工藝流程:加載→玻璃和卡匣感應(yīng)檢測→熱DI高壓清洗→DI清洗→CDA風(fēng)機(風(fēng)干)→1#熱烘干→2#熱烘干→卡匣變形檢驗→卸載;

          -干燥方式:卡匣在干燥室內(nèi)旋轉(zhuǎn)通過熱風(fēng)進行烘干;

          -設(shè)備節(jié)拍:根據(jù)客戶需求設(shè)計;

          -產(chǎn)品定制:室體規(guī)格根據(jù)Cassette規(guī)格設(shè)計;有一室/二室/三室等規(guī)格可選擇;


          金屬

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